Tập đoàn Busch đã trình bày danh mục đầu tư toàn diện của mình dành cho ngành công nghiệp bán dẫn tại SEMICON Korea 2025.
Maulburg, Đức Ngày 01 tháng 04 năm 2025 2 phút
Khách tham quan có cơ hội thảo luận về máy bơm chân không, giải pháp quản lý ô nhiễm (CMS), máy dò rò rỉ, van, giải pháp giảm khí và quản lý phụ nhà máy toàn diện với các chuyên gia từ Busch Vacuum Solutions và Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Dưới hai thương hiệu này, Busch Group cung cấp các giải pháp chân không chất lượng cao cho các nhà máy sản xuất bán dẫn, từ phòng sạch đến ống xả, tối ưu hóa quy trình sản xuất với độ chính xác, độ tin cậy và hiệu quả.
Mô hình nhà máy mới trưng bày các giải pháp bán dẫn
Lần đầu tiên, một mô hình in 3D mới của một nhà máy sản xuất bán dẫn đã được trình bày để trưng bày các ví dụ về thiết bị. Mô hình này giới thiệu các sản phẩm toàn diện của Pfeiffer cho tất cả các sàn nhà máy ở định dạng thu nhỏ, chẳng hạn như máy bơm chân không phân tử turbo, van, đồng hồ đo, máy dò rò rỉ và giải pháp quản lý ô nhiễm (CMS) cho phòng sạch và máy bơm chân không thùy quay nhiều tầng cho sàn phụ. Đối với tầng hầm, hệ thống giảm khí, máy bơm chân không trục vít khô và các máy dò rò rỉ khác cũng như máy bơm chân không thùy quay nhiều tầng được trưng bày trong mô hình này.
Máy bơm chân không cho ngành công nghiệp bán dẫn
Ngoài mô hình chế tạo, một số máy bơm chân không đã được giới thiệu. Máy bơm chân không phân tử tuabin HiPace 3400 IT của Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions lý tưởng cho các ứng dụng đầy thách thức trong cấy ion. Đây là máy bơm tuabin nhỏ gọn nhất trong cùng loại.
TORRI BD 0600 là máy bơm chân không thùy quay nhiều tầng không dầu, cung cấp thời gian bơm xuống ngắn cho các buồng khóa tải và có thiết kế nhỏ, nhẹ, tiết kiệm năng lượng.
Khi cần độ bền kết hợp với yêu cầu năng lượng thấp, UltiDry sẽ phát huy tác dụng. Máy bơm chân không khô nhiều tầng này rất phù hợp cho các ứng dụng khắc nghiệt. Nó được thiết kế để tăng cường quản lý bột và xử lý lưu lượng đầu vào cao trong khi chịu được khí ăn mòn và cung cấp mức tiêu thụ điện năng thấp hơn trong điều kiện vận hành khắc nghiệt.
Các hệ thống giảm nhiệt ở nhiệt độ cao kết hợp phạm vi quy trình rộng của việc giảm ngọn lửa với các khía cạnh không sử dụng nhiên liệu của việc giảm plasma. Các hệ thống có chi phí vận hành và phát thải thứ cấp thấp hơn, đồng thời có khả năng phá hủy khí quy trình phân tử NF3 ở mức hàng đầu trong cùng loại với lượng phát thải NOx cực thấp. Họ cung cấp giải pháp bền vững với lượng khí thải carbon tối thiểu cho các quy trình CVD và khắc kim loại.
Nhiều du khách đã tận dụng cơ hội đến thăm gian hàng của Busch Group và trao đổi về xu hướng thị trường bán dẫn trong tương lai, công nghệ và sự phát triển với các chuyên gia.
